真空電阻爐與真空箱式爐或井式電阻爐相比，具有以下特點：
 

　　1、需要清潔、干燥的氣氛環境。一般真空電阻爐安裝在環境比較干凈，空氣比較干燥的地方。特別是高真空電阻爐，對于干燥的氣氛更是有嚴格要求，否則會因為潮濕使爐內材料吸附水分，導致真空度降低或抽氣時間增長，達不到工作真空度的要求；
 

　　2、嚴格的真空密封結構。真空電阻爐的一個關鍵問題，就是為了保證真空電阻爐的真空性能，要有可靠的真空密封結構，真空密封設計注意以下幾點：一是爐體要采用氣密焊接，二是在真空系統上盡量少開孔，三是少采用動密封結構，減少真空泄露的機會，另外，安裝在真空爐體上的部件或附件，如水冷電極、熱電偶伸縮裝置也都必須設計密封結構；
 

　　3、熱區部件只能在真空狀態下使用。真空電阻爐廣泛采用了鉭、鎢、鉬等作電熱元件或隔熱材料，這些材料抗氧化性能較差，在高溫狀態下極易氧化，因此，真空電阻爐的電熱元件與隔熱材料只能在真空狀態下使用；
 

　　4、水冷裝置。高溫真空電阻爐的爐殼、爐蓋、連接法蘭、電極等部件，均在高溫受熱狀態下工作，為保證各部件的結構不變形損壞，真空密封圈不因過熱燒毀，對各部件應該根據不同的情況設計水冷裝置。對于通有大電流的電纜和變壓器，由于自身發熱可能被燒毀，也需要進行水冷，以保證真空電阻爐能夠正常運行；
 

　　5、 采用低壓大電流加熱。真空電阻爐真空度低于13.3Pa時，通電元件在較高的電壓下，會產生輝光放電現象，如果爐內被污染，嚴重的會產生弧光放電，燒毀電熱元件、隔熱屏，絕緣子被擊穿等，造成重大事故和損失，因此大都采用低壓大電流加熱工作方式，真空電阻爐的電熱元件的工作電壓，一般都不超過80~100V，為防止輝光放電或者弧光放電的發生，電熱元件結構盡量避免有的部位，而且電極間的間距不能太小；
 

　　6、自動化程度高。真空電阻爐一般采用計算機、PLC及智能溫度控制器進行控制，以便滿足各種溫度控制工藝要求，真空電阻爐除溫度控制外，還有真空系統、冷卻系統、電氣控制系統等，狀態檢測點和控制點多達數十個，甚至上百個，這就需要電阻爐有較高的自動化程度。